小流量塵埃粒子計數器設備是一種用于檢測潔凈環(huán)境中單位體積內塵埃粒子數目及其分布的儀器。具有檢測速度快、精度高、人為影響小等特點，現已在藥檢所、防疫站、血液中心、制藥車間、精密儀器加工、質量監(jiān)督所等部分有著廣泛的使用。

　　

　　光源是小流量塵埃粒子計數器設備的關鍵部件，對儀器的性能影響很大。光源要求穩(wěn)定性高、壽命長、不受干擾。激光塵埃粒子計數器的光源有普通光源和激光光源兩種。普通光源為碘鎢燈，體積大、發(fā)熱量高、壽命短，開機后需要預熱。激光光源為激光器，體積小、穩(wěn)定性高、壽命長，常與檢測腔及光檢測器做成一體，組成傳感器。常見的激光光源有HeNe激光器、激光二極管。采用普通光源的小流量塵埃粒子計數器設備對0.3μm以下的微粒信號響應很低，其信號幅度與計數器本身的噪聲幅度相差無幾，信號很難從噪聲中檢測出來。此類小流量塵埃粒子計數器設備雖然標有0.3μm這一通道，但只適于測定大于0.3μm特別是0.5μm以上的微粒。由于激光的單色性好，光能量集中穩(wěn)定，所以采用激光光源的小流量塵埃粒子計數器設備其傳感器有較高的信噪比，此類儀器有些能檢測到0.1μm的微粒。